用PAA模板法实现硅基纳米孔阵列结构
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (7): 4997-5001
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
用PAA模板法实现硅基纳米孔阵列结构
白安琪, 胡迪, 丁武昌, 苏少坚, 胡炜玄, 薛春来, 樊中朝, 成步文, 俞育德, 王启明
中国科学院半导体所,集成光电子国家重点实验室,北京 100083
Silicon nanopore array structure using porous anodic alumina
Bai An-Qi, Hu Di, Ding Wu-Chang, Su Shao-Jian, Hu Wei-Xuan, Xue Chun-Lai, Fan Zhong-Chao, Cheng Bu-Wen, Yu Yu-De, Wang Qi-Ming
中国科学院半导体所,集成光电子国家重点实验室,北京 100083

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