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石榴石外延膜色散关系的确定和膜厚的测量

王立萱

石榴石外延膜色散关系的确定和膜厚的测量

王立萱
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出版历程
  • 收稿日期:  1982-04-20
  • 刊出日期:  1983-02-05

石榴石外延膜色散关系的确定和膜厚的测量

  • 1. 中国科学院上海冶金研究所

摘要: 本文提出了确定石榴石外延膜的色散关系和测量膜厚的一种方法。充分利用分光光度计获得的透射光谱,在波长大于2μm,因而膜和衬底的吸收及色散近于可忽略时,由透过率的极值计算得到相应波长下膜的折射率。按干涉条件计算并推定出所有干涉极值的干涉级数,进而算出各干涉极值波长下膜的折射率。最后用最小二乘法求得科希色散公式的系数,从而得到该膜的色散关系。利用此色散关系就可计算膜厚。

English Abstract

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