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应变弛豫InGaAs/GaAs超晶格的X射线双晶衍射及形貌研究

李建华 麦振洪 崔树范

应变弛豫InGaAs/GaAs超晶格的X射线双晶衍射及形貌研究

李建华, 麦振洪, 崔树范
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出版历程
  • 收稿日期:  1992-10-19
  • 刊出日期:  2005-07-10

应变弛豫InGaAs/GaAs超晶格的X射线双晶衍射及形貌研究

  • 1. 中国科学院物理研究所,北京100080

摘要: 应用X射线双晶衍射及双晶形貌术,对应变弛豫的InGaAs/GaAs超晶格作了研究,通过对双晶衍射摇摆曲线的计算机模拟,得到了超晶格的结构,应变弛豫机制,弛豫比,超晶格层与衬底的取向差等重要参数。从双晶形貌,得到了超晶格与衬底界面处和超晶格中的位错分布。

English Abstract

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