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双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究

王玉田 庄岩 江德生 杨小平 姜晓明 武家杨 修立松 郑文莉

双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究

王玉田, 庄岩, 江德生, 杨小平, 姜晓明, 武家杨, 修立松, 郑文莉
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-09-12
  • 修回日期:  1995-09-27
  • 刊出日期:  1996-10-20

双势垒超晶格结构的同步辐射及X射线双晶衍射研究

  • 1. (1)中国科学院半导体研究所,国家光电子工艺中心; (2)中国科学院高能物理研究所

摘要: 利用高精度的X射线双晶衍射和同步辐射散射对可用于半导体红外探测器的双势垒超晶格材料进行了研究,并运用X射线衍射动力学理论进行模拟计算,得到了与实验结果符合得很好的理论曲线.同时发现包络函数节点处的卫星峰对结构参数的变化极为灵敏.以此进行模拟计算,可准确地确定出样品的结构参数,厚度误差范围为±0.1nm.并利用X射线衍射运动学理论对实验中观测到的卫星峰调制现象给予了解释

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