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TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应

魏 仑 梅芳华 邵 楠 李戈扬 李建国

TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应

魏 仑, 梅芳华, 邵 楠, 李戈扬, 李建国
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-02
  • 修回日期:  2004-08-31
  • 刊出日期:  2005-04-19

TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应

  • 1. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
    基金项目: 

    上海市纳米技术专项基金(批准号:0325nm084)资助的课题.

摘要: 高硬度的含氧化物纳米多层膜在工具涂层上具有重要的应用价值.研究了TiN/SiO22纳米多 层膜的晶体生长特征和超硬效应.一系列具有不同SiO22和TiN调制层厚的纳米多 层膜采用多 靶磁控溅射法制备;采用x射线衍射、x射线能量色散谱、高分辨电子显微镜和微力学探针表 征了多层膜的微结构和力学性能.结果表明,虽然以单层膜形式存在的TiN和SiO22分别形成 纳米晶和非晶结构,它们组成多层膜时会因晶体生长的互促效应而呈现共格外延生长的结构 特

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