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氢化硅薄膜的晶化机理研究

李世彬 吴志明 李 伟 于军胜 蒋亚东 廖乃镘

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氢化硅薄膜的晶化机理研究

李世彬, 吴志明, 李 伟, 于军胜, 蒋亚东, 廖乃镘

Study on crystallization mechanism of hydrogenated silicon film

Li Shi-Bin, Wu Zhi-Ming, Li Wei, Yu Jun-Sheng, Jiang Ya-Dong, Liao Nai-Man
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-02
  • 修回日期:  2008-05-05
  • 刊出日期:  2008-11-20

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