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动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

冯玉芳 杨春 余毅

动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

冯玉芳, 杨春, 余毅
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-07-06
  • 修回日期:  2008-09-07
  • 刊出日期:  2009-05-20

动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

  • 1. (1)可视化计算与虚拟实现四川省重点实验室,四川师范大学,成都 610068; (2)可视化计算与虚拟实现四川省重点实验室,四川师范大学,成都 610068;电子薄膜与集成器件国家重点实验室,电子科技大学,成都 610054; (3)四川师范大学学报编辑部自然科学版,成都 610068
    基金项目: 

    国家国防“973”基金(批准号:61363),四川省青年科技基金(批准号:07ZQ026-021)资助的课题.

摘要: 采用基于第一性原理的从头计算分子动力学方法,计算了300—800℃下AlN吸附过程与系统能量、动力学轨迹以及扩散系数.研究表明,吸附过程由物理吸附、化学吸附和表面稳定态三个阶段组成,在吸附成键过程中,温度越高,粒子平均表面扩散能力增强.N原子的扩散系数大于Al原子的扩散系数,尤其是在物理吸附阶段.在较高温度条件下(大于700℃),N的解吸附作用明显增强,不利于AlN的稳定吸附生长,500—700℃之间的温度有利于AlN在α-Al2O3(0001)表面的稳定吸附生

English Abstract

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