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动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

杨春 冯玉芳 余毅

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动力学研究AlN/α-Al2O3(0001)薄膜生长初期的吸附与扩散

杨春, 冯玉芳, 余毅

Dynamics study of the adsorption and diffusion in early growth stage of AlN/α-Al2O3(0001) films

Yang Chun, Feng Yu Fang, Yu Yi
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-07-06
  • 修回日期:  2008-09-07
  • 刊出日期:  2009-05-20

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