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(Zr,V)N复合膜的结构、力学性能及摩擦性能研究

喻利花 马冰洋 曹峻 许俊华

(Zr,V)N复合膜的结构、力学性能及摩擦性能研究

喻利花, 马冰洋, 曹峻, 许俊华
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-08-29
  • 修回日期:  2012-11-22
  • 刊出日期:  2013-04-05

(Zr,V)N复合膜的结构、力学性能及摩擦性能研究

  • 1. 江苏科技大学材料科学与工程学院, 镇江 212003
    基金项目: 

    国家自然科学基金 (批准号: 51074080) 和江苏省自然科学基金 (批准号: BK2008240) 资助的课题.

摘要: 通过非平衡磁控溅射的方法制备了不同V含量的(Zr,V)N复合薄膜, 采用EDS, XRD, XPS, 纳米压痕仪和摩擦磨损仪等对薄膜的化学成分、微结构、力学性能及摩擦性能进行了研究. 结果表明, V的加入虽未改变ZrN的fcc晶体结构, 但使薄膜的择优取向由ZrN的(200)面转变为(Zr,V)N的(111)面. 随着V含量增加, (Zr,V)N复合膜的硬度略有升高后缓慢降低, 并在含25.8 at.%V后迅速降低. 与此同时, 薄膜的常温摩擦系数亦有小幅降低. 高温摩擦研究表明, (Zr,V)N薄膜在300 ℃时出现V2O3, V2O5 在500 ℃后形成, 其含量也随温度的提高而增加. 薄膜的摩擦系数因V2O5 的形成而得到显著降低.

English Abstract

参考文献 (15)

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