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基于密度泛函理论的第一性原理平面波超软赝势法对ZnO（Mn，N）体系的晶格结构、形成能、态密度以及电荷密度进行了计算和理论研究. 研究结果表明，Mn和N共掺杂ZnO体系具有更低的杂质形成能和更高的化学稳定性，更加适合p型掺杂. Mn和N以1：2的比例掺杂时，体系的形成能降低，体系更稳定；同时，体系中形成双受主能级缺陷，使得杂质固溶度增大，体系中载流子数增多，p型化特征更明显. 此外，研究发现相比于N单掺杂ZnO体系，Mn和N原子共掺杂ZnO体系有更多的杂质态密度穿越费米能级，在导带与价带之间形成更宽的受主N 2p的杂质态，同时空穴有效质量变小. 与Mn-N共掺杂体系相比，Mn-2N共掺杂体系的受主杂质在费米能级附近的态密度更加弥散，非局域化特征明显. 因此，Mn-N共掺杂有望成为p型掺杂的更有效的手段.
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