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硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)

杨 靖 李景镇 孙秀泉 龚向东

硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)

杨 靖, 李景镇, 孙秀泉, 龚向东
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-31
  • 修回日期:  2004-11-18
  • 刊出日期:  2005-07-07

硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)

  • 1. 深圳大学工程技术学院,深圳 518060
    基金项目: 

    教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题.

摘要: 了解含有负离子的低温等离子体的过渡特性,在等离子体控制过程中,尤其在选择性等离子 体腐蚀工艺和改善电荷堆积等现象中是十分重要的课题.对电源驱动频率为1356MHz,压力 为05Torr(05×10333Pa)状态下的硅烷(SiH4)低温等离子体的阶跃响应 进行仿真. 当电源电压振幅从550V阶跃减小到350V时,硅烷低温等离子体表现出以数千RF周期为周期的振荡现象,等离子体中的带电粒子的运动变化决定了振荡现象的产生和振荡周期等特性.

English Abstract

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