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飞秒激光烧蚀LiNbO3晶体的形貌特征与机理研究

余本海 戴能利 王 英 李玉华 季玲玲 郑启光 陆培祥

飞秒激光烧蚀LiNbO3晶体的形貌特征与机理研究

余本海, 戴能利, 王 英, 李玉华, 季玲玲, 郑启光, 陆培祥
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-01-04
  • 修回日期:  2007-02-04
  • 刊出日期:  2007-05-05

飞秒激光烧蚀LiNbO3晶体的形貌特征与机理研究

  • 1. 华中科技大学 武汉光电国家实验室激光科学与技术部,光电子科学与工程学院,武汉 430074
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10574050)和高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20060487006)资助的课题.

摘要: 采用了不同能量的单脉冲和多脉冲飞秒激光对LiNbO3晶体进行烧蚀,并刻蚀了表面衍射型光栅.通过扫描电镜和原子力显微镜观察了烧蚀点的形貌特征,首次发现利用单束飞秒激光脉冲对LiNbO3晶体烧蚀,可以得到超衍射极限的烧蚀点,当聚焦光斑直径约为2μm、能量为170nJ的单脉冲飞秒激光作用时,烧蚀点的直径约为400nm,100nJ,17个脉冲作用时烧蚀点的直径约为800nm.同时可以观察到在能量较低的多脉冲飞秒激光作用下, LiNbO3晶体呈现出大约200nm周期性分布的波纹状结构.实验结果表明,选择合适参数的飞秒激光脉冲可以对LiNbO3晶体进行超衍射极限加工,这对于利用飞秒激光制作LiNbO3基质的微纳光电子器件有十分重要的意义.

English Abstract

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