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飞秒激光烧蚀硅表面产生等离子体的发射光谱研究

高勋 宋晓伟 郭凯敏 陶海岩 林景全

飞秒激光烧蚀硅表面产生等离子体的发射光谱研究

高勋, 宋晓伟, 郭凯敏, 陶海岩, 林景全
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-12-27
  • 修回日期:  2010-03-06
  • 刊出日期:  2011-01-05

飞秒激光烧蚀硅表面产生等离子体的发射光谱研究

  • 1. (1)长春理工大学理学院,长春 130022; (2)长春理工大学理学院,长春 130022;包头师范学院物理科学与技术学院,包头 014030
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60978014, 11074027)、吉林省科技厅基金(批准号: 20090523, 20100168, 20100521)、吉林省教育厅基金(批准号: [2008]297)和长春市科技局国际合作项目(批准号:09GH01)资助的课题.

摘要: 对中心波长为800 nm,脉宽为100 fs的激光脉冲烧蚀空气中硅(111)产生的等离子体发射光谱进行了时间和空间分辨研究. 结果表明,在等离子体羽膨胀初期(小于50 ns时间范围内),等离子体发射光谱主要由连续光谱构成,此后连续光谱强度逐渐减弱,线状光谱开始占主导地位;在羽体膨胀过程中离子谱线的存在时间短于原子谱线的存在时间. 由时间分辨发射光谱发现在羽体膨胀过程中等离子体辐射波长存在红移现象,波长红移量随时间演化呈二次指数衰减. 最后给出等离子体发射光谱谱线强度的时空演化规律.

English Abstract

参考文献 (16)

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