搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究

张端明 李智华 关 丽 李 莉 谭新玉

纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究

张端明, 李智华, 关 丽, 李 莉, 谭新玉
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  3170
  • PDF下载量:  1062
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2004-11-15
  • 修回日期:  2005-03-07
  • 刊出日期:  2005-04-05

纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中的烧蚀特性研究

  • 1. (1)华中科技大学物理系,武汉 430074; (2)华中科技大学物理系,武汉 430074;三峡大学物理系,宜昌 443002
    基金项目: 

    激光技术国家重点实验室基金(批准号:9713D)、湖北省自然科学基金(批准号:2001ABB 099)和国家自然科学基金(批准号:50272022)资助的课题.

摘要: 研究了高能短脉冲激光薄膜制备的整个烧蚀过程.首先建立了基于超热理论的烧蚀模型,然 后利用较为符合实际的高斯分布表示脉冲激光输入能量密度,给出了考虑蒸发效应不同阶段 的烧蚀状态方程.结合适当的边界条件,以Si靶材为例,利用有限差分法得到了靶材在各个 阶段温度随时间和烧蚀深度的演化分布规律及表面蒸发速度与烧蚀深度在不同激光辐照强度 下随时间的演化规律.结果表明,在脉冲激光辐照阶段,靶材表面的蒸发效应使得靶材表面 温度上升显著放缓;在激光辐照强度接近相爆炸能量阈值时,蒸发速度与蒸发厚度的变化由 于逆流现象将显著放缓.还得到了考虑了熔融弛豫时间及蒸发效应的固-液界面随时间的演化 方程,这一结论较先前工作更具有普适性.

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回