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利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究

侯海虹 孙喜莲 田光磊 吴师岗 马小凤 邵建达 范正修

利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究

侯海虹, 孙喜莲, 田光磊, 吴师岗, 马小凤, 邵建达, 范正修
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-03-26
  • 修回日期:  2009-01-21
  • 刊出日期:  2009-09-20

利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究

  • 1. (1)常熟理工学院物理系,常熟 215500;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    江苏省高校自然科学研究项目(批准号:KY200684)和江苏省高校“青蓝工程”资助的课题.

摘要: 利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2(YSZ)薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根(RMS)粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究,并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合,对测量结果做出了合理解释,从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.

English Abstract

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