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闪速存储器中应力诱生漏电流的产生机理

刘红侠 郑雪峰 郝 跃

闪速存储器中应力诱生漏电流的产生机理

刘红侠, 郑雪峰, 郝 跃
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  • 通过实验研究了闪速存储器存储单元中应力诱生漏电流(SILC)的产生机理. 研究结果表明,在低电场应力下,其可靠性问题主要是由载流子在氧化层里充放电引起,而在高电场下,陷阱和正电荷辅助的隧穿效应导致浮栅电荷变化是引起闪速存储器失效的主要原因. 分别计算了高场应力和低场应力两种情况下SILC中的稳态电流和瞬态电流的大小.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 60206006)、国家高技术研究发展计划(批准号: 2004AA1Z1070)和教育部重点科技研究计划(批准号: 104172)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-04-08
  • 修回日期:  2005-07-18
  • 刊出日期:  2005-06-05

闪速存储器中应力诱生漏电流的产生机理

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室, 西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 60206006)、国家高技术研究发展计划(批准号: 2004AA1Z1070)和教育部重点科技研究计划(批准号: 104172)资助的课题.

摘要: 通过实验研究了闪速存储器存储单元中应力诱生漏电流(SILC)的产生机理. 研究结果表明,在低电场应力下,其可靠性问题主要是由载流子在氧化层里充放电引起,而在高电场下,陷阱和正电荷辅助的隧穿效应导致浮栅电荷变化是引起闪速存储器失效的主要原因. 分别计算了高场应力和低场应力两种情况下SILC中的稳态电流和瞬态电流的大小.

English Abstract

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