TiN/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应
物理学报
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (2): 770-775
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TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应
孔 明, 魏 仑, 董云杉, 李戈扬
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
Epitaxial growth and superhardness effect in TiN/Al2O3 nanomultilayers
Kong Ming, Wei Lun, Dong Yun-Shan, Li Ge-Yang
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030

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