电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性
物理学报
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物理学报  2006, Vol. 55 Issue (6): 3124-3127
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
电子束蒸发氧化锆薄膜的粗糙度和光散射特性
邵建达1, 范正修1, 易 葵1, 侯海虹2, 孙喜莲2, 申雁鸣2
(1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039
Roughness and light scattering properties of ZrO2 thin films deposited by electron beam evaporation
Shao Jian-Da1, Fan Zheng-Xiu1, Yi Kui1, Hou Hai-Hong2, Sun Xi-Lian2, Shen Yan-Ming2
(1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039

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