物理学报
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物理学报  2010, Vol. 59 Issue (10): 7225.      DOI: 10.7498/aps.59.7225
凝聚物质:结构、热学和力学性质 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
样品温度对CF3+ 与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟
Bogaerts A.1, 吕晓丹2, 赵成利2, 贺平逆2, 宁建平3, 秦尤敏3, 苟富君4
(1)比利时安特卫普大学化学系PLASMANT课题组,比利时 B-2610; (2)贵州大学等离子体与材料表面作用研究所,贵阳 550025; (3)贵州大学等离子体与材料表面作用研究所,贵阳 550025,贵州大学材料科学与冶金工程学院,贵阳 550003; (4)四川大学辐射物理及技术教育部重点实验室,成都 610064,荷兰皇家科学院等离子体所,荷兰 2300
Molecular dynamics simulation of temperature effects on CF+3 etching of Si surface
Lü Xiao-Dan1, Zhao Cheng-Li1, He Ping-Ni1, Ning Jian-Ping2, Qin You-Min2, Gou Fu-Jun3, Bogaerts A.4
(1)Institute of Plasma Surface Interactions, Guizhou University, Guiyang 550025, China; (2)Institute of Plasma Surface Interactions, Guizhou University, Guiyang 550025, China, Material and Metallurgy, College of Guizhou University, Guiyang 550003, China; (3)Key Laboretory of Radiation Physics and Technology Ministry of Education, Chengdu 610064, China, Foundation of Material Institute for Plasma Physics, 3439 MN Nieuwegein, Netherlands; (4)Research Group PLASMANT, University of Antwerp, B-2610


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