沟槽形状对硅基沟槽式肖特基二极管电学特性的影响
物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (12): 127201     doi:10.7498/aps.63.127201
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沟槽形状对硅基沟槽式肖特基二极管电学特性的影响
翟东媛1, 赵毅1, 蔡银飞2, 施毅1, 郑有炓1
1. 南京大学电子科学与工程学院, 南京 210093;
2. 杭州启沛科技有限公司, 杭州 311121
Effect of the trench shape on the electrical properties of silicon based trench barrier schottky diode
Zhai Dong-Yuan1, Zhao Yi1, Cai Yin-Fei2, Shi Yi1, Zheng You-Dou1
1. School of Electronic Science and Engineering, Nanjing University, Nanjing 210093, China;
2. Hangzhou QP Chip Technology Co. Ltd, Hangzhou 311121, China

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