U形阵列式微机械悬臂梁的研究
物理学报
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物理学报  2004, Vol. 53 Issue (1): 31-36
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U形阵列式微机械悬臂梁的研究
于晓梅, 张大成, 王丛舜, 李婷, 阮勇
北京大学微电子学研究所,北京 100871
A study of U-shaped micromachined cantilever array
Yu Xiao-Mei, Zhang Da-Cheng, Wang Cong-Shun, Li Ting, Ruan Yong
北京大学微电子学研究所,北京 100871

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