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锑化铟单晶中杂质的反常分凝

俞振中 金刚 陈新强 马可军

锑化铟单晶中杂质的反常分凝

俞振中, 金刚, 陈新强, 马可军
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出版历程
  • 收稿日期:  1978-11-13
  • 刊出日期:  2005-07-29

锑化铟单晶中杂质的反常分凝

摘要: 借助于电学及质谱分析方法测定了掺Te,及未掺杂InSb晶体横截面上的杂质浓度分布。结果指出,杂质在小平面上具有明显的反常分凝现象,对于小平面效应的机制进行了讨论,并根据热力学理论给出了一个能满意解释实验结果的具体表式。

English Abstract

参考文献 (1)

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