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场致发射阴极碳纳米管的热化学气相沉积法低温生长

郭平生 陈 婷 曹章轶 张哲娟 陈奕卫 孙 卓

场致发射阴极碳纳米管的热化学气相沉积法低温生长

郭平生, 陈 婷, 曹章轶, 张哲娟, 陈奕卫, 孙 卓
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-03
  • 修回日期:  2007-03-22
  • 刊出日期:  2007-11-20

场致发射阴极碳纳米管的热化学气相沉积法低温生长

  • 1. 华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心,纳米功能材料和应用研究中心,物理系,上海 200062

摘要: 结合丝网印刷和过滤阴极真空电弧法、离子束溅射方法,在普通玻璃衬底上制备催化剂图案,采用低温热化学气相沉积法(CVD)生长碳纳米管/纤维(CNTs)薄膜.研究了不同种类催化剂对CNTs薄膜生长及其场发射的影响.结果表明,在a-C:Co,Ni-Cu和Cu三种催化剂上没有获得明显的CNTs,在外加电场小于4.4V/μm时没有观察到场发射;而在Ni-Fe及Ni-Cr两种催化剂上获得了大量的CNTs,并且表现出良好的场发射性能,开启电场为2.5V/μm,这种热CVD有简单、低温等优点,在CNTs场发射显示器的阴极制备中有潜在的应用价值.

English Abstract

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