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衬底对化学气相沉积法制备氧化硅纳米线的影响

闫小琴 刘祖琴 唐东升 慈立杰 刘东方 周振平 梁迎新 袁华军 周维亚 王 刚

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衬底对化学气相沉积法制备氧化硅纳米线的影响

闫小琴, 刘祖琴, 唐东升, 慈立杰, 刘东方, 周振平, 梁迎新, 袁华军, 周维亚, 王 刚

Effects of substrates on silicon oxide nanowires growth by thermal chemical vapor deposition

Yan Xiao-Qin, Liu Zu-Qin, Tang Dong-Sheng, Ci Li-Jie, Liu Dong-Fang, Zhou Zhen-Ping, Liang Ying-Xin, Yuan Hua-Jun, Zhou Wei-Ya, Wang Gang
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-07-01
  • 刊出日期:  2003-01-05

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