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利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

谢国锋

利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

谢国锋
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-03-23
  • 修回日期:  2007-04-16
  • 刊出日期:  2008-03-20

利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

  • 1. 湘潭大学材料与光电物理学院,湘潭 411105

摘要: 用Trim程序计算溅射原子的角分布规律,发现溅射原子出射角服从过余弦分布,利用这一规律,改进了收集方法,使得离子收集效率大大提高.

English Abstract

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