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TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应

孔 明 魏 仑 董云杉 李戈扬

引用本文:
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TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应

孔 明, 魏 仑, 董云杉, 李戈扬

Epitaxial growth and superhardness effect in TiN/Al2O3 nanomultilayers

Kong Ming, Wei Lun, Dong Yun-Shan, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-05-10
  • 修回日期:  2005-07-24
  • 刊出日期:  2006-01-05

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