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基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数

梁丽萍 郝建英 秦 梅 郑建军

基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数

梁丽萍, 郝建英, 秦 梅, 郑建军
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-17
  • 修回日期:  2008-07-29
  • 刊出日期:  2008-12-20

基于透射光谱确定溶胶凝胶ZrO2薄膜的光学常数

  • 1. 
    基金项目: 

    太原科技大学博士科研启动基金(批准号:200786)资助的课题.

摘要: 基于溶胶凝胶ZrO2薄膜的紫外/可见/近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了ZrO2薄膜在200—1200nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现,溶胶凝胶ZrO2薄膜具有高折射率(1.63—1.93,测试波长为632.8nm)、低吸收和直接能量带隙(4.97—5.63eV) 等光学特性,而且其光学常数对薄膜制备过程中的重要工艺

English Abstract

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