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椭偏光谱法研究溶胶-凝胶TiO2薄膜的光学常数

王晓栋 沈军 王生钊 张志华

椭偏光谱法研究溶胶-凝胶TiO2薄膜的光学常数

王晓栋, 沈军, 王生钊, 张志华
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-03-24
  • 修回日期:  2009-04-13
  • 刊出日期:  2009-11-20

椭偏光谱法研究溶胶-凝胶TiO2薄膜的光学常数

  • 1. 同济大学,波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海 200092
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2008AA8041606)和国家自然科学基金(批准号:50752001,50802064)资助的课题.

摘要: 以钛酸丁酯为前驱体,采用溶胶-凝胶工艺成功制备了TiO2薄膜.利用反射式椭圆偏振光谱仪测量了薄膜的椭偏参量Ψ和Δ,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,得到了薄膜的厚度和光学常数在380—800 nm的色散关系.用分光光度计测量了薄膜的反射率,并用干涉法计算薄膜的厚度;使用原子力显微镜观测了薄膜的表面微结构,分析讨论了不同退火温度处理的薄膜微结构与光学常数之间的关系.研究结果表明,Cauchy模型能较好地符合溶胶-凝胶TiO2薄

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