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低温等离子体增强化学气相沉积法制备Ge反opal三维光子晶体及其光学性能

李宇杰 谢凯 李效东 许静 韩喻 杜盼盼

低温等离子体增强化学气相沉积法制备Ge反opal三维光子晶体及其光学性能

李宇杰, 谢凯, 李效东, 许静, 韩喻, 杜盼盼
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  • 通过溶剂蒸发对流自组装法制备SiO2三维有序胶体晶体模板,采用等离子体增强化学气相沉积法在200℃低温条件下填充高折射率材料Ge,获得了Ge反opal三维光子晶体.实现了低于GeH4热分解温度的低温填充.通过扫描电镜、X射线衍射仪和傅里叶变换显微红外光谱仪对Ge反opal的形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明:沉积得到无定型态Ge,退火后形成多晶Ge,Ge在SiO2微球空隙内填充致密均匀.Ge反opal的反射光谱有明显的光学反射峰,表现
    • 基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:5130702002)资助的课题.
    [1]

    [1]Yablonovitch E 1987 Phys. Rev. Lett. 58 2059

    [2]

    [2]John S 1987 Phys. Rev. Lett. 58 2486

    [3]

    [3]Krauss T F, De La Rue R M, Brand S 1996 Nat. 383 699

    [4]

    [4]Birner A, Mubller, F, Gruning U 1998 Phys. Stat. Sol. (a) 165 111

    [5]

    [5]Campbell M, Sharp D, Harrison M T, Denning R G, Turberfield A J 2000 Nat. 404 53

    [6]

    [6]Deubel M, Freymann G V, Wegener M, Pereira S, Busch K, Soukoulis C M 2004 Nat. Mater. 3 444

    [7]

    [7]Zhong Y C, Zhu S A, Wang H Z, Zeng Z H, Chen Y L 2006 Acta Phy. Sin. 55 688 (in Chinese)[钟永春、朱少安、汪河洲、曾兆华 陈用烈 2006 物理学报 55 688]

    [8]

    [8]Xia Y N, Gates B, Yin Y D, Lu Y 2000 Adv. Mater. 12 693

    [9]

    [9]Jenekhe S A, Chen X L 1999 Sci. 283 372

    [10]

    ]Tétreault N, Freymann G V, Deubel M, Hermatschweiler M, Pérez-Willard F, John S, Wegener M, Ozin G A 2006 Adv. Mater. 18 457

    [11]

    ]Blanco A, Chomski E, Grabtchak S, Ibisate M, John S, Leonard S W 2000 Nat. 405 437

    [12]

    ]Vlasov Y A, Bo X, Sturm J C, Norris D 2001 Nat. 414 289

    [13]

    ]Li Y J, Xie K, Xu J, Long Y F 2006 Mater. Rev. 20 129[李宇杰、谢凯、许静、龙永福 2006 材料导报 20 129]

    [14]

    ]García-Santamaría F, Ibisate M, Rodríguez I, Meseguer F, López C 2003 Adv. Mater. 15 788

    [15]

    ]Míguez H, Chomski E, García-Santamaría F, Ibisate M, John S, López C, Meseguer F, Mondia J P, Ozin G A, Toader O, Van Driel H M 2001 Adv. Mater. 13 1634

    [16]

    ]Yang M J, Shieh J, Hsu S L, Huang I J, Leu C C, Shen S W, Huang T Y, Lehnen P, Chien C H 2005 Solid-State Electrochem. Lett. 8 C74

    [17]

    ]Ou H, R T P, Rdam, Rottwitt K, Grumsen F, Horsewell A, Berg R W 2007 Appl. phys. B: Lasers and Optics b 87 327

    [18]

    ]Carrion M N P, Bottechia J P, Pereyra I 1997 Thin Solid Films 308-309 219

    [19]

    ]Tian M B 2006 Thin Film Technologies and Materials (Beijing: Tstinghua University Press) p198 (in Chinese)[田民波 2006 薄膜技术与薄膜材料(北京: 清华大学出版社) 第198页]

  • [1]

    [1]Yablonovitch E 1987 Phys. Rev. Lett. 58 2059

    [2]

    [2]John S 1987 Phys. Rev. Lett. 58 2486

    [3]

    [3]Krauss T F, De La Rue R M, Brand S 1996 Nat. 383 699

    [4]

    [4]Birner A, Mubller, F, Gruning U 1998 Phys. Stat. Sol. (a) 165 111

    [5]

    [5]Campbell M, Sharp D, Harrison M T, Denning R G, Turberfield A J 2000 Nat. 404 53

    [6]

    [6]Deubel M, Freymann G V, Wegener M, Pereira S, Busch K, Soukoulis C M 2004 Nat. Mater. 3 444

    [7]

    [7]Zhong Y C, Zhu S A, Wang H Z, Zeng Z H, Chen Y L 2006 Acta Phy. Sin. 55 688 (in Chinese)[钟永春、朱少安、汪河洲、曾兆华 陈用烈 2006 物理学报 55 688]

    [8]

    [8]Xia Y N, Gates B, Yin Y D, Lu Y 2000 Adv. Mater. 12 693

    [9]

    [9]Jenekhe S A, Chen X L 1999 Sci. 283 372

    [10]

    ]Tétreault N, Freymann G V, Deubel M, Hermatschweiler M, Pérez-Willard F, John S, Wegener M, Ozin G A 2006 Adv. Mater. 18 457

    [11]

    ]Blanco A, Chomski E, Grabtchak S, Ibisate M, John S, Leonard S W 2000 Nat. 405 437

    [12]

    ]Vlasov Y A, Bo X, Sturm J C, Norris D 2001 Nat. 414 289

    [13]

    ]Li Y J, Xie K, Xu J, Long Y F 2006 Mater. Rev. 20 129[李宇杰、谢凯、许静、龙永福 2006 材料导报 20 129]

    [14]

    ]García-Santamaría F, Ibisate M, Rodríguez I, Meseguer F, López C 2003 Adv. Mater. 15 788

    [15]

    ]Míguez H, Chomski E, García-Santamaría F, Ibisate M, John S, López C, Meseguer F, Mondia J P, Ozin G A, Toader O, Van Driel H M 2001 Adv. Mater. 13 1634

    [16]

    ]Yang M J, Shieh J, Hsu S L, Huang I J, Leu C C, Shen S W, Huang T Y, Lehnen P, Chien C H 2005 Solid-State Electrochem. Lett. 8 C74

    [17]

    ]Ou H, R T P, Rdam, Rottwitt K, Grumsen F, Horsewell A, Berg R W 2007 Appl. phys. B: Lasers and Optics b 87 327

    [18]

    ]Carrion M N P, Bottechia J P, Pereyra I 1997 Thin Solid Films 308-309 219

    [19]

    ]Tian M B 2006 Thin Film Technologies and Materials (Beijing: Tstinghua University Press) p198 (in Chinese)[田民波 2006 薄膜技术与薄膜材料(北京: 清华大学出版社) 第198页]

  • [1] 武继江, 高金霞. 含特异材料一维超导光子晶体的带隙特性研究. 物理学报, 2013, 62(12): 124102. doi: 10.7498/aps.62.124102
    [2] 亓丽梅, 杨梓强, 兰峰, 高喜, 史宗君, 梁正. 二维色散和各向异性磁化等离子体光子晶体色散特性研究. 物理学报, 2010, 59(1): 351-359. doi: 10.7498/aps.59.351
    [3] 赵达尊, 张海涛, 巩马理, 王东生, 李 伟. 群论在光子带隙计算中的应用. 物理学报, 2004, 53(7): 2060-2064. doi: 10.7498/aps.53.2060
    [4] 王连卫, 陈 瑜, 周 梅, 陈效双, 徐 靖, 曾 勇, 吴砚瑞, 陆 卫. 中红外波段硅基两维光子晶体的光子带隙. 物理学报, 2005, 54(1): 411-415. doi: 10.7498/aps.54.411
    [5] 刘博文, 胡明列, 米 艳, 侯蓝田, 周桂耀, 王 康, 陈 超, 高 飞. 空芯光子晶体光纤光子带隙的测量与数值模拟. 物理学报, 2008, 57(6): 3583-3587. doi: 10.7498/aps.57.3583
    [6] 周 梅, 陈效双, 徐 靖, 陆 卫. 硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性. 物理学报, 2004, 53(10): 3583-3586. doi: 10.7498/aps.53.3583
    [7] 关春颖, 苑立波. 六角蜂窝结构光子晶体异质结带隙特性研究. 物理学报, 2006, 55(3): 1244-1247. doi: 10.7498/aps.55.1244
    [8] 喻筱静, 孙晓玮, 顾建忠, 林水洋, 王 闯. 基于补偿型微带谐振单元的一维光子带隙结构. 物理学报, 2006, 55(8): 4176-4180. doi: 10.7498/aps.55.4176
    [9] 王爱民, 栗岩锋, 胡晓堃. 基于高折射率断环结构的全固光子带隙光纤的设计. 物理学报, 2011, 60(6): 064212. doi: 10.7498/aps.60.064212
    [10] 董鹏, 唐芳琼, 苏惠敏, 汪河洲, 何拥军. 准完全带隙胶体非晶光子晶体. 物理学报, 2001, 50(5): 892-896. doi: 10.7498/aps.50.892
    [11] 王辉, 李永平. 用特征矩阵法计算光子晶体的带隙结构. 物理学报, 2001, 50(11): 2172-2178. doi: 10.7498/aps.50.2172
    [12] 李 蓉, 程 阳, 崔丽彬, 朱 峰, 周 静, 刘大禾, 刘 守, 张向苏. 晶格数目对面心立方结构光子晶体带隙的影响. 物理学报, 2006, 55(1): 188-191. doi: 10.7498/aps.55.188
    [13] 巴诺, 王磊, 张岩. 一维冷原子晶格中相干诱导三光子带隙. 物理学报, 2014, 63(3): 034209. doi: 10.7498/aps.63.034209
    [14] 程兰, 罗兴, 韦会峰, 李海清, 彭景刚, 戴能利, 李进延. 1550 nm低损耗单模全固态光子带隙光纤研究. 物理学报, 2014, 63(7): 074210. doi: 10.7498/aps.63.074210
    [15] 杨柳, 郜中星, 薛冰, 张勇刚, 蔡永茂. 基于自发辐射相干效应的可调光子带隙反射率的提高方法. 物理学报, 2018, 67(23): 234204. doi: 10.7498/aps.67.20181374
    [16] 赵明明, 吕燕伍, 余家新, 庞许倩. 旋转对二维正方晶格介质柱内空结构光子晶体禁带的影响. 物理学报, 2008, 57(2): 1061-1065. doi: 10.7498/aps.57.1061
    [17] 吴丰, 郭志伟, 吴家驹, 江海涛, 杜桂强. 含双曲超构材料的复合周期结构的带隙调控及应用. 物理学报, 2020, (): . doi: 10.7498/aps.69.20200084
    [18] 程胜飞, 彭景刚, 李进延, 程兰, 蒋作文, 李海清, 戴能利, 姜发刚, 杨晓波. 空芯光子晶体光纤表面模损耗控制的研究. 物理学报, 2012, 61(24): 244207. doi: 10.7498/aps.61.244207
    [19] 王家璐, 杜木清, 张伶莉, 刘永军, 孙伟民. 基于不同液晶填充光子晶体光纤传输特性的研究. 物理学报, 2015, 64(12): 120702. doi: 10.7498/aps.64.120702
    [20] 陈效双, 王少伟, 张建标, 陆 卫, 周 梅. THz波段的F-P光子晶体滤波器. 物理学报, 2006, 55(7): 3725-3729. doi: 10.7498/aps.55.3725
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-03-23
  • 修回日期:  2009-07-27
  • 刊出日期:  2010-03-15

低温等离子体增强化学气相沉积法制备Ge反opal三维光子晶体及其光学性能

  • 1. 国防科学技术大学材料工程与应用化学系,长沙 410073
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:5130702002)资助的课题.

摘要: 通过溶剂蒸发对流自组装法制备SiO2三维有序胶体晶体模板,采用等离子体增强化学气相沉积法在200℃低温条件下填充高折射率材料Ge,获得了Ge反opal三维光子晶体.实现了低于GeH4热分解温度的低温填充.通过扫描电镜、X射线衍射仪和傅里叶变换显微红外光谱仪对Ge反opal的形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明:沉积得到无定型态Ge,退火后形成多晶Ge,Ge在SiO2微球空隙内填充致密均匀.Ge反opal的反射光谱有明显的光学反射峰,表现

English Abstract

参考文献 (19)

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