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熔石英亚表面划痕对入射激光的调制是导致光学材料损伤的主要因素.本文建立了熔石英后表面上三维Hertz锥形划痕模型，采用三维时域有限差分方法对划痕周围的电场强度进行了计算模拟，并分别讨论了划痕的深度、半径以及倾斜角度对入射光场调制作用的影响.结果表明：Hertz锥形划痕中心区域的电场增强效果最明显，最容易被辐照损伤；划痕的深度从λ变化到9.5λ的过程中，熔石英内的最大电场强度逐渐增大；半径小于15λ的Hertz锥形划痕较容易引起熔石英的损伤，当半径大于175λ时，熔石英内的最大电场强度都维持在2.5 V/m，不再受半径大小影响；当入射激光在划痕的内侧界面和熔石英后表面之间发生内全反射时，光场增强效果愈加明显.
[1] ［1］Chen F, Meng S X 1998 Phys. Prog. 18 187 (in Chinese) ［陈飞、 孟绍贤 1998 物理学进展 18 187］
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[9] ［9］Zhang D M, Hou S P, Guan L, Zhong Z C, Li Z H, Yang F X, Zheng K Y 2004 Acta Phys. Sin. 53 2237 (in Chinese) ［张端明、 侯思普、 关丽、 钟志成、 李智华、 杨凤霞、 郑克玉 2004 物理学报 53 2237］
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[11] ］Tian D B, Yuan X D, Zu X T 2008 High Power Laser Part. Beams 20 319 (in Chinese) ［田东斌、 袁晓东、 祖小涛 2008 强激光与粒子束 20 319］
[12] ］Génin F Y, Salleo A, Pistor T V 2001 J. Opt. Soc. Am. A 18 2607
[13] ］Ge D B, Yan Y B 2002 Electro-magnetic Wave and Finite-Diffevence Fince-Dorucion (Xi’an: Xidian University Press) p14 (in Chinese) ［葛德彪、 闫玉波 2002 电磁波时域有限差分方法 (西安: 西安电子科技大学出版社) 第14页］
[14] ］Battersby C L 1999 Proc. SPIE 3578 446
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