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单载流子光电探测器的高速及高饱和功率的研究

张岭梓 左玉华 曹权 薛春来 成步文 张万昌 曹学蕾 王启明

单载流子光电探测器的高速及高饱和功率的研究

张岭梓, 左玉华, 曹权, 薛春来, 成步文, 张万昌, 曹学蕾, 王启明
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-03-29
  • 修回日期:  2011-11-28
  • 刊出日期:  2012-07-05

单载流子光电探测器的高速及高饱和功率的研究

  • 1. 中国科学院高能物理研究所, 粒子天体物理研究中心, 北京 100049;
  • 2. 中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号: 2006CB302802)、 国家自然科学基金(批准号: 60676005, 60906035) 和中国科学院知识创新工程(批准号: ISCAS2009T01)资助的课题.

摘要: 利用载流子漂移-扩散模型, 模拟并分析了InGaAs/InP单载流子光电探测器(Uni-traveling-carrier/UTC-PD) 在不同条件下的物理特性及其带宽和饱和特性, 结合器件实验结果分析了影响器件高速和高饱和性能的物理机理. 结论表明在吸收区采用浓度渐变掺杂和增加InP崖层(cliff layer), 可以显著提升器件饱和特性, 高入射功率下吸收区电场崩塌是器件饱和的直接因素, 直径大于20 μm的UTC探测器中RC常数仍是影响带宽的主要因素. 论文指出了优化器件结构、 提升器件性能的有效方法.

English Abstract

参考文献 (14)

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