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射频功率对辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

李蕊 何智兵 何小珊 牛忠彩 杨向东

射频功率对辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

李蕊, 何智兵, 何小珊, 牛忠彩, 杨向东
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  • 采用辉光放电技术和等离子体质谱诊断技术, 研究了H2/C4H8混合气体等离子体中正离子成分及主要正离子能量随射频功率的变化规律, 并分析了H2/C4H8混合气体主要的离解机理和形成过程. 研究表明: 随着射频功率的增加, 碳氢碎片离子的浓度增加, 在20 W时达到最大值, 25 W后有所减小. 当射频功率小于10 W时, H2/C4H8混合气体等离子体中C4H9+相对浓度最大, 当功率大于或等于10 W时, C3H3+相对浓度最大. 随着射频功率的增大, 碳氢碎片离子的能量逐渐增加. 对H2/C4H8混合气体等离子体的组成与能量进行的定性分析, 将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层工艺参数优化提供参考.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 10974139, 10964002)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-04-17
  • 修回日期:  2012-05-23
  • 刊出日期:  2012-11-05

射频功率对辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

  • 1. 四川大学原子与分子物理研究所, 成都 610065;
  • 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621900
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 10974139, 10964002)资助的课题.

摘要: 采用辉光放电技术和等离子体质谱诊断技术, 研究了H2/C4H8混合气体等离子体中正离子成分及主要正离子能量随射频功率的变化规律, 并分析了H2/C4H8混合气体主要的离解机理和形成过程. 研究表明: 随着射频功率的增加, 碳氢碎片离子的浓度增加, 在20 W时达到最大值, 25 W后有所减小. 当射频功率小于10 W时, H2/C4H8混合气体等离子体中C4H9+相对浓度最大, 当功率大于或等于10 W时, C3H3+相对浓度最大. 随着射频功率的增大, 碳氢碎片离子的能量逐渐增加. 对H2/C4H8混合气体等离子体的组成与能量进行的定性分析, 将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层工艺参数优化提供参考.

English Abstract

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