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ZnO:Sb薄膜的光致发光及拉曼特性研究

邓泉 马勇 杨晓红 叶利娟 张学忠 张起 付宏伟

ZnO:Sb薄膜的光致发光及拉曼特性研究

邓泉, 马勇, 杨晓红, 叶利娟, 张学忠, 张起, 付宏伟
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  • 利用射频磁控溅射法(MS-RF)在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO:Sb薄膜. 借助X射线衍射仪(XRD)、透射光谱、光致发光谱(PL)和拉曼散射光谱(Raman)等手段研究了Sb掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构、光致发光和拉曼特性的影响. 结果表明: 所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向; 在Sb 掺杂ZnO薄膜的拉曼光谱中观察到位于532 cm-1的振动模式, 结合XRD分析认为此峰归因于Sb替代Zn位且与O 成键的局域振动模式(LVMSb-O); 光致发光谱测试发现, 仅在ZnO:Sb薄膜中观察到位于3.11 eV附近的紫光发射峰, 结合拉曼光谱分析认为此峰与SbZn-O复合体缺陷相关.
    • 基金项目: 重庆师范大学博士基金(批准号: 10XLB022)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-05-06
  • 修回日期:  2012-07-05
  • 刊出日期:  2012-12-05

ZnO:Sb薄膜的光致发光及拉曼特性研究

  • 1. 重庆市光电功能材料重点实验室, 重庆师范大学光学工程重点实验室, 重庆 400047
    基金项目: 

    重庆师范大学博士基金(批准号: 10XLB022)资助的课题.

摘要: 利用射频磁控溅射法(MS-RF)在玻璃基片上制备了不同掺杂浓度的ZnO:Sb薄膜. 借助X射线衍射仪(XRD)、透射光谱、光致发光谱(PL)和拉曼散射光谱(Raman)等手段研究了Sb掺杂浓度对ZnO薄膜的微结构、光致发光和拉曼特性的影响. 结果表明: 所有样品均呈现ZnO六角纤锌矿结构且具有高度c轴择优取向; 在Sb 掺杂ZnO薄膜的拉曼光谱中观察到位于532 cm-1的振动模式, 结合XRD分析认为此峰归因于Sb替代Zn位且与O 成键的局域振动模式(LVMSb-O); 光致发光谱测试发现, 仅在ZnO:Sb薄膜中观察到位于3.11 eV附近的紫光发射峰, 结合拉曼光谱分析认为此峰与SbZn-O复合体缺陷相关.

English Abstract

参考文献 (41)

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