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6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析

周拥华 张义门 张玉明 孟祥志

6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析

周拥华, 张义门, 张玉明, 孟祥志
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-29
  • 修回日期:  2004-03-17
  • 刊出日期:  2004-11-16

6H-SiC pn结紫外光探测器的模拟与分析

  • 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10147201和10247003)资助的课题.

摘要: 运用器件模拟软件模拟了pn结6H-SiC紫外光探测器的光响应灵敏度特性.讨论了不同掺杂浓度、不同器件结深对响应灵敏度的影响.对于p+n结器件,当受光面为p+层,且厚度约为0.2μm、浓度约为9×10.18cm-3、n层浓度约为1×1 0.16cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=167.2mA/W;当受光面为n+ 层 ,且厚度约为0.2μm、浓度约为9×10.18cm-3、p层浓度约为1×10.16cm-3时,器件有较大的响应灵敏度,R=183.5mA/W.通过比较可知,模型能较好地反应实际情况,与实验数据符合较好.

English Abstract

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