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热应力作用降低LPE层中的位错

涂相征

热应力作用降低LPE层中的位错

涂相征
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出版历程
  • 收稿日期:  1982-01-19
  • 刊出日期:  2005-07-21

热应力作用降低LPE层中的位错

  • 1. 中国科学院半导体研究所

摘要: 提出由温差造成热剪切应力,引起衬底穿线位错滑移,形成界面位错,从而降低LPE层中位错的模型。稳定自然对流下的温度梯度液相外延,存在衬底厚度方向的温差,能在边缘固定的衬底中造成热剪切应力。生长了厚GaAs和Ga1-xAlxAs层(x暗线缺陷的临界剪切应力。表面腐蚀坑观察表明,外延层位错密度下降,或无位错。界面蚀槽和阴极荧光观察表明,衬底穿线位错在界面弯曲成界面位错。透射电子显微镜观察表明,界面位错多

English Abstract

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