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Bl结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究

史引焕 赵柏儒 赵玉英 李林

Bl结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究

史引焕, 赵柏儒, 赵玉英, 李林
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-08-31
  • 刊出日期:  2005-07-06

Bl结构MoNx薄膜的制备及物理性能研究

  • 1. 中国科学院物理研究所
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 我们对以反应性溅射法制备的MoNx薄膜测量了超导转变温度Tc,电阻率ρ(T)(从Tc起始到300K)。用X射线衍射技术、卢瑟福背散射(RBS)、俄歇谱仪和X射线光电子能谱(XPS)技术对这些样品进行了分析。实验结果表明Tc和ρ(T)随N含量改变而变化。当样品是B1结构时,Tc小于4.2K,而且样品内还有过量的N存在。俄歇分析表明,样品内有O,C杂质存在。这些因素都可能导致Tc很低,ρ(T)呈负的温度系数。

English Abstract

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