YBCO半导体薄膜及Bolometer特性

刘景和; 孙  强; 刘向东; 刑宏岩; 李建利; 李国桢; 黄宗坦; 黄承彩; 李  丹; 黄江平

doi:10.7498/aps.49.2017

摘要
就Si为衬底的钇钡铜氧(分子式：Y1Ba2Cu3O7-δ ，δ≥05，简称YBCO)薄膜的半导体性质，及用于红外测辐射热计(Bolometer)的探测性能进行了研究.通过测定温度电阻系数(TCR)和霍尔(Hall)系数，并采用XRD、拉曼散射光谱等手段分析了YBCO半导体薄膜的微观结构和光谱响应特性，认为该薄膜是非制冷红外焦平面的新型探测元材料.

关键词:
YBCO半导体薄膜 /

测辐射热计 /

温度电阻系数
Abstract
We have studied the semiconducting property of the Y1Ba2Cu 3O7-δ(δ≥05, abbreviated YBCO) thin film which is depo sited on Si substrate and the characteristics of the bolometer using the film to detect IR radiation. We measured TCR merit and Hall coefficient and analyzed th e microstructure and the responsive characteristics of the YBCO semiconducting t hin film through XRD and Raman spectrum. We believe that the thin film is a new sensing material which can be applied to uncooled infrared focal plane bolometers.

Keywords:
semiconducting YBCO thin film /

bolometer /

temperatue coefficient of resistance
作者及机构信息
刘景和¹,

孙强¹,

刘向东¹,

刑宏岩¹,

李建利¹,

李国桢²,

黄宗坦²,

黄承彩²,

李丹²,

黄江平²

(1)长春光学精密机械学院，长春 130022; (2)昆明物理研究所，昆明 650023
Authors and contacts
LIU JING-HE¹,

SUN QIANG¹,

LIU XIANG-DONG¹,

XING HONG-YAN¹,

LI JIAN-LI¹,

LI GUO-ZHEN²,

HUANG ZONG-TAN²,

HUANG CHENG-CAI²,

LI DAN²,

HUANG JIANG-PING²

(1)长春光学精密机械学院，长春 130022; (2)昆明物理研究所，昆明 650023
参考文献

施引文献

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YBCO半导体薄膜及Bolometer特性

STUDY ON SEMICONDUCTING YBCO THIN FILM AND CHARACTERISTICS OF BOLOMETER

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