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基于微陷阱结构的金属二次电子发射系数抑制研究

叶鸣 贺永宁 王瑞 胡天存 张娜 杨晶 崔万照 张忠兵

基于微陷阱结构的金属二次电子发射系数抑制研究

叶鸣, 贺永宁, 王瑞, 胡天存, 张娜, 杨晶, 崔万照, 张忠兵
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  • 近年来,金属二次电子发射系数的抑制研究在加速器、大功率微波器件等领域得到了广泛关注. 为评估表面形貌对抑制效果的影响,利用唯象概率模型计算方法对三角形沟槽、矩形沟槽、方孔及圆孔4种不同形状微陷阱结构的二次电子发射系数进行了研究,分析了微陷阱结构的形状、尺寸对二次电子发射系数抑制特性的影响规律. 理论研究结果表明:陷阱结构的深宽比、孔隙率越大,则其二次电子发射系数抑制特性越明显;方孔形和圆孔形微陷阱结构的二次电子发射系数抑制效果优于三角形沟槽和矩形沟槽;具有大孔隙率的微陷阱结构表面的二次电子发射系数对入射角度的依赖显著弱于平滑表面. 制备了具有不同表面形貌的金属样片并进行二次电子发射系数测试,所得实验规律与理论模拟规律符合较好.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11275154)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-01-11
  • 修回日期:  2014-03-27
  • 刊出日期:  2014-07-05

基于微陷阱结构的金属二次电子发射系数抑制研究

  • 1. 西安交通大学电子与信息工程学院, 西安 710049;
  • 2. 中国空间技术研究院西安分院, 西安 710100;
  • 3. 西北核技术研究所辐射探测科学研究中心, 西安 710024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:11275154)资助的课题.

摘要: 近年来,金属二次电子发射系数的抑制研究在加速器、大功率微波器件等领域得到了广泛关注. 为评估表面形貌对抑制效果的影响,利用唯象概率模型计算方法对三角形沟槽、矩形沟槽、方孔及圆孔4种不同形状微陷阱结构的二次电子发射系数进行了研究,分析了微陷阱结构的形状、尺寸对二次电子发射系数抑制特性的影响规律. 理论研究结果表明:陷阱结构的深宽比、孔隙率越大,则其二次电子发射系数抑制特性越明显;方孔形和圆孔形微陷阱结构的二次电子发射系数抑制效果优于三角形沟槽和矩形沟槽;具有大孔隙率的微陷阱结构表面的二次电子发射系数对入射角度的依赖显著弱于平滑表面. 制备了具有不同表面形貌的金属样片并进行二次电子发射系数测试,所得实验规律与理论模拟规律符合较好.

English Abstract

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