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变组分AlGaAs/GaAs透射式光电阴极分辨力特性分析

邓文娟 彭新村 邹继军 江少涛 郭栋 张益军 常本康

变组分AlGaAs/GaAs透射式光电阴极分辨力特性分析

邓文娟, 彭新村, 邹继军, 江少涛, 郭栋, 张益军, 常本康
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  • 建立了变组分AlGaAs/GaAs光电阴极二维载流子输运连续性方程. 在一定的边界条件下,利用数值计算方法对此方程进行求解,得到了变组分AlGaAs/GaAs光电阴极调制传递函数(MTF)理论计算模型. 利用该模型计算了透射式变组分和均匀组分阴极的理论MTF,分析了分辨力与Al组分变化范围、入射光子波长、AlGaAs和GaAs层厚度的关系. 计算结果表明,变组分阴极与均匀组分阴极相比,阴极分辨力显著提高. 当空间频率f在100–500 lp·mm-1区间时,分辨力的提高最为明显,如当f=200 lp·mm-1 时,一般可提高150%–260%. 变组分阴极分辨力的提高是内建电场作用的结果,但内建电场太大时,也会由于Al组分含量过高而影响阴极的长波响应.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:61067001,61261009,61301023)、教育部科学技术研究重点项目(批准号:212090)、江西省自然科学基金(批准号:20114BAB202009)和江西省教育厅科技项目(批准号:GJJ11491)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-03-01
  • 修回日期:  2014-04-29
  • 刊出日期:  2014-08-05

变组分AlGaAs/GaAs透射式光电阴极分辨力特性分析

  • 1. 东华理工大学, 核技术应用教育部工程研究中心, 南昌 330013;
  • 2. 东华理工大学, 江西省新能源工艺及装备工程技术研究中心, 南昌 330013;
  • 3. 南京理工大学电子工程与光电技术学院, 南京 210094
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:61067001,61261009,61301023)、教育部科学技术研究重点项目(批准号:212090)、江西省自然科学基金(批准号:20114BAB202009)和江西省教育厅科技项目(批准号:GJJ11491)资助的课题.

摘要: 建立了变组分AlGaAs/GaAs光电阴极二维载流子输运连续性方程. 在一定的边界条件下,利用数值计算方法对此方程进行求解,得到了变组分AlGaAs/GaAs光电阴极调制传递函数(MTF)理论计算模型. 利用该模型计算了透射式变组分和均匀组分阴极的理论MTF,分析了分辨力与Al组分变化范围、入射光子波长、AlGaAs和GaAs层厚度的关系. 计算结果表明,变组分阴极与均匀组分阴极相比,阴极分辨力显著提高. 当空间频率f在100–500 lp·mm-1区间时,分辨力的提高最为明显,如当f=200 lp·mm-1 时,一般可提高150%–260%. 变组分阴极分辨力的提高是内建电场作用的结果,但内建电场太大时,也会由于Al组分含量过高而影响阴极的长波响应.

English Abstract

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