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反应溅射a-Si:H/a-Ge:H超晶格的热稳定性

王印月 许怀哲 陈光华

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反应溅射a-Si:H/a-Ge:H超晶格的热稳定性

王印月, 许怀哲, 陈光华

INVESTIGATION ON THERMAL STABILITY OF REACTIVE- SPUTTERING a-Si:H/a-Ge:H SUPERLATTICES

WANG YIN-YUE, XU HUAI-ZHE, CHEN GUANG-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-02-04
  • 刊出日期:  1992-01-05

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