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飞秒激光在空气和水中对硅片烧蚀加工的实验研究

王锐 杨建军 梁春永 王洪水 韩伟 杨阳

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飞秒激光在空气和水中对硅片烧蚀加工的实验研究

王锐, 杨建军, 梁春永, 王洪水, 韩伟, 杨阳

Femtosecond laser ablation of silicon wafers in air and water

Wang Rui, Yang Jian-Jun, Liang Chun-Yong, Wang Hong-Shui, Han Wei, Yang Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-09
  • 修回日期:  2008-12-10
  • 刊出日期:  2009-04-05

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