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高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究

韩亮 陈仙 杨立 王炎武 王晓艳 赵玉清

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高能氮离子轰击对四面体非晶碳膜的表面改性和摩擦系数影响的研究

韩亮, 陈仙, 杨立, 王炎武, 王晓艳, 赵玉清

Surface modification and the friction coefficient of tetrahedral amorphous carbon films bombarded by energetic N ion

Han Liang, Chen Xian, Yang Li, Wang Yan-Wu, Wang Xiao-Yan, Zhao Yu-Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-08-18
  • 修回日期:  2010-09-16
  • 刊出日期:  2011-03-05

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