微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究
物理学报
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物理学报  2009, Vol. 58 Issue (8): 5716-5720     doi:10.7498/aps.58.5716
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微晶硅薄膜带隙态及微结构的研究
彭文博1, 刘石勇1, 肖海波1, 张长沙1, 石明吉1, 曾湘波1, 孔光临1, 俞育德1, 徐艳月2
(1)中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京 100083; (2)中国农业大学应用物理系,北京 100083
Gap states and microstructure of microcrystalline silicon thin films
Peng Wen-Bo1, Liu Shi-Yong1, Xiao Hai-Bo1, Zhang Chang-Sha1, Shi Ming-Ji1, Zeng Xiang-Bo1, Kong Guang-Lin1, Yu Yu-De1, Xu Yan-Yue2
(1)中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京 100083; (2)中国农业大学应用物理系,北京 100083

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