非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析
物理学报
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物理学报  1990, Vol. 39 Issue (11): 1796-1802
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析
程光煦1, 余是东1, 何宇亮2, 周衡南2, 刘湘娜2
(1)南京大学固体微结构物理实验室,南京,210008; (2)南京大学物理系,南京,210008
STUDIES AND ANALYSIS FOR MICROSTRUCTURES OF MICRO-CRYSTALLIZATION PROCESS OF AMORPHOUS SILICON FILMS
CHENG GUANG-XU1, YU SHI-DONG1, HE YU-LIANG2, ZHOU HENG-NAN2, LIU XIANG-NA2
(1)南京大学固体微结构物理实验室,南京,210008; (2)南京大学物理系,南京,210008

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