物理学报
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物理学报  2013, Vol. 62 Issue (3): .      DOI: 10.7498/aps.62.037701
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
前驱体和退火温度对Nd2O3薄膜组分影响的定量研究
张旭杰, 刘红侠, 范小娇, 樊继斌
西安电子科技大学微电子学院, 宽禁带半导体材料与器件重点实验室, 西安 710071
Quantitative analysis on the influences of the precursor and annealing temperature on Nd2O3 film composition
Zhang Xu-Jie, Liu Hong-Xia, Fan Xiao-Jiao, Fan Ji-Bin
Microelectronics School, Xidian University, Key Laboratory of Wide Bandgap Semiconductor Materials and Devices, Xi'an 710071, China


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