高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (18): 185207     doi:10.7498/aps.63.185207
气体、等离子体和放电物理 当期目录| 过刊浏览| 高级检索     
高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应
吴忠振1 2, 田修波2, 潘锋1, Ricky K. Y. Fu3, 朱剑豪3
1. 北京大学深圳研究生院新材料学院, 深圳 518055;
2. 哈尔滨工业大学, 先进焊接与连接国家重点实验室, 哈尔滨 150001;
3. 香港城市大学物理与材料科学系, 九龙
Enhanced discharge of high power pulsed magnetron sputtering coupling with high voltage
Wu Zhong-Zhen1 2, Tian Xiu-Bo2, Pan Feng1, Ricky K. Y. Fu3, Paul K. Chu3
1. School of Advanced Materials, Peking University Shenzhen Graduate School, Shenzhen 518055, China;
2. State Key Laboratory of Advanced Welding Production and Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
3. Department of Physics and Materials Science, City University of Hong Kong, Tat Chee Avenue, Kowloon, Hong Kong, China

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