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椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律

冯洪安 余玉贞 黄炳忠

椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律

冯洪安, 余玉贞, 黄炳忠
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  • 本文提出一个利用椭偏光谱测量复数折射率薄膜的方法。由于引入一个新的目标函数,把搜索的参量空间的维数减至四维,因此不但可以测得薄膜的光学常数和厚度,并且可同时确定衬底的光学常数。我们应用这个方法对射频溅射在硅衬底上生长的ITO膜光学常数的色散和生长规律进行了初步研究,发现硅衬底的表观光学常数也发生了变化
    • 基金项目: 中国科学院科学基金资助的课题
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-04-15
  • 刊出日期:  2005-07-14

椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律

  • 1. 中山大学
    基金项目: 

    中国科学院科学基金资助的课题

摘要: 本文提出一个利用椭偏光谱测量复数折射率薄膜的方法。由于引入一个新的目标函数,把搜索的参量空间的维数减至四维,因此不但可以测得薄膜的光学常数和厚度,并且可同时确定衬底的光学常数。我们应用这个方法对射频溅射在硅衬底上生长的ITO膜光学常数的色散和生长规律进行了初步研究,发现硅衬底的表观光学常数也发生了变化

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