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SiOxNy薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型

杨炳良 刘百勇 陈斗南 郑耀宗

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SiOxNy薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型

杨炳良, 刘百勇, 陈斗南, 郑耀宗

MICROSTRUCTURE OF SiOxNy THIN FILMS AND A NEW MODEL FOR THE CURRENT TRANSPORT MECHANISM

YANG BING-LIANG, LIU BAI-YONG, CHEN DOU-NAN, Y. C. CHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-03-12
  • 修回日期:  1990-05-08
  • 刊出日期:  1991-01-05

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