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Al-O,C元素添加对FeCo合金薄膜磁性和频率特性的影响

王璇 郑富 芦佳 白建民 王颖 魏福林

Al-O,C元素添加对FeCo合金薄膜磁性和频率特性的影响

王璇, 郑富, 芦佳, 白建民, 王颖, 魏福林
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-03-15
  • 修回日期:  2010-04-30
  • 刊出日期:  2011-01-15

Al-O,C元素添加对FeCo合金薄膜磁性和频率特性的影响

  • 1. 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室,磁性材料研究所,兰州 730000
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10874060)资助的课题.

摘要: 用磁控射频溅射法制备了FeCoAlOC薄膜,研究了Al-O和C元素的添加对FeCo合金薄膜的软磁性和高频特性的影响.随着Al,O,C元素添加量的增加,薄膜微结构发生了由多晶到纳米晶再到非晶状态的转化,软磁性得到提高;薄膜电阻率则由最初的87 μΩ·cm增至900 μΩ·cm,高频特性得到改善: 截止频率最高可达2.9 GHz,低频实部磁导率最高可到达400.

English Abstract

参考文献 (16)

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