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单级衍射量子点阵光栅的聚焦离子束直写法制备及光学性能检测

黄成龙 张继成 刁凯迪 曾勇 易勇 曹磊峰 王红斌

单级衍射量子点阵光栅的聚焦离子束直写法制备及光学性能检测

黄成龙, 张继成, 刁凯迪, 曾勇, 易勇, 曹磊峰, 王红斌
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  • 采用聚焦离子束直写技术,成功制作了面积为200 μm×200 μm,线密度500 mm-1,圆孔直径800 nm,金吸收体厚度为500 nm的单级衍射量子点阵光栅. 研究了该光栅在波长442 nm激光下不同传输距离的衍射特性以及相对衍射效率. 实验结果表明,量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有良好的单级衍射特性. 1级衍射与0级衍射间距随传输距离的增大而增大,实测值与理论计算值相符.
    • 基金项目: 四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金(批准号:11zxfk19)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-13
  • 修回日期:  2013-09-18
  • 刊出日期:  2014-01-05

单级衍射量子点阵光栅的聚焦离子束直写法制备及光学性能检测

  • 1. 西南科技大学,四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地, 绵阳 621010;
  • 2. 西南科技大学, 极端条件物质特性实验室, 绵阳 621010;
  • 3. 中国工程物理研究院, 激光聚变研究中心, 绵阳 621900
    基金项目: 

    四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金(批准号:11zxfk19)资助的课题.

摘要: 采用聚焦离子束直写技术,成功制作了面积为200 μm×200 μm,线密度500 mm-1,圆孔直径800 nm,金吸收体厚度为500 nm的单级衍射量子点阵光栅. 研究了该光栅在波长442 nm激光下不同传输距离的衍射特性以及相对衍射效率. 实验结果表明,量子点阵光栅不存在高级衍射,只保留了±1级和0级衍射,具有良好的单级衍射特性. 1级衍射与0级衍射间距随传输距离的增大而增大,实测值与理论计算值相符.

English Abstract

参考文献 (19)

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