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氧分压对溅射制备氧化镓薄膜结构及光学带隙的影响

马海林 苏庆

氧分压对溅射制备氧化镓薄膜结构及光学带隙的影响

马海林, 苏庆
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  • 在不同氧分压η(η =O2/[Ar+O2])实验条件下,通过直流反应溅射制备了氧化镓薄膜,然后在真空环境下进行高温再结晶热处理. 用紫外-可见分光光度计(UV-Vis)研究了氧分压η 对光学带隙Eg的影响. X射线衍射(XRD)和共聚焦拉曼散射光谱(Raman Scattering)分析显示:经900 ℃高温热处理后,薄膜呈结晶β 相氧化镓,且晶粒尺寸随着氧分压的逐渐增加而变大. 室温下由UV-Vis测试薄膜透过率并利用Tauc公式计算得到样品的光学带隙Eg在4.68–4.85 eV之间,且随氧分压η 的逐渐增加而变大.
    • 基金项目: 兰州交通大学青年科学基金(批准号:2011037)资助的课题.
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    Wu X C, Song W H, Huang W D, Pu M H, Zhao B, Sun Y P, Du J J 2000 Chem. Phys. Lett. 328 5

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    Li S T 1990 Elements of crystal X-ray diffraction (Beijing: Industry of metallurgy press) p170 (in Chinese) [李树棠 1990 晶体X射线衍射学基础(北京: 冶金工业出版社)第170页]

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    Xu X, Cao C B, Guo Y J, Zhu H S 2003 Chem. Phys. Lett. 378 660

    [18]

    Jalilian R, Yazdanpanah M M et al 2006 Chem. Phys. Lett. 426 393

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    Tauc J, Grigorovici R, Vancu A 1966 Phys. Status Solidi. 15 627

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-17
  • 修回日期:  2014-02-09
  • 刊出日期:  2014-06-05

氧分压对溅射制备氧化镓薄膜结构及光学带隙的影响

  • 1. 兰州交通大学, 国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心, 兰州 730070;
  • 2. 兰州大学, 物理科学与技术学院, 兰州 730000
    基金项目: 

    兰州交通大学青年科学基金(批准号:2011037)资助的课题.

摘要: 在不同氧分压η(η =O2/[Ar+O2])实验条件下,通过直流反应溅射制备了氧化镓薄膜,然后在真空环境下进行高温再结晶热处理. 用紫外-可见分光光度计(UV-Vis)研究了氧分压η 对光学带隙Eg的影响. X射线衍射(XRD)和共聚焦拉曼散射光谱(Raman Scattering)分析显示:经900 ℃高温热处理后,薄膜呈结晶β 相氧化镓,且晶粒尺寸随着氧分压的逐渐增加而变大. 室温下由UV-Vis测试薄膜透过率并利用Tauc公式计算得到样品的光学带隙Eg在4.68–4.85 eV之间,且随氧分压η 的逐渐增加而变大.

English Abstract

参考文献 (19)

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